基于表面图像锐度的LIBS自动对焦方法

作者：王华东; 付洪波; 贾军伟; 周琪琪; 倪志波; 董凤忠^*

来源：光子学报, 2019, 48(06): 45-52.

• 光谱学
• 激光诱导击穿光谱
• 自动对焦
• 图像处理
• 非接触测量

利用自行设计的集成微区成像激光诱导击穿光谱系统,分析了孔径光阑设定、目标区域大小以及样品表面反射率对表面图像位置敏感特性的影响.结果表明,表面图像锐度在大孔径设定下对位置更为敏感,适用于自动对焦过程;反射率对表面图像锐度的位置敏感特性影响较小,且部分表面图像的锐度也可用于辅助激光诱导击穿光谱对焦;不同样品不同目标区域大小,图像锐度最大值对应表面位置具有很好的重复性.在此基础上,建立了基于表面图像锐度的自动对焦方法.

• 单位
  中国科学院，安徽光学精密机械研究所; 中国科学院安徽光学精密机械研究所; 中国科学技术大学