扫描探针显微镜针尖电容的测量与应用

作者：孙浩明; 王志红; 曾慧中; 古曦

来源：电子测量技术, 2009, (02): 163-165+169.

DOI：10.19651/j.cnki.emt.2009.02.047

• 扫描探针显微镜
• 微区电容
• 锁相放大
• C-z曲线
• C-V曲线 SPM
• micro-area capacitance
• lock-in amplify
• C-z curve
• C-V curve

本文基于扫描探针显微镜(SPM)建立了微区电容的低频测量系统,最小测量电容为30aF,工作频率为20～100kHz。试验测量了SPM导电针尖与金属样品之间的电容Ctip与它们之间的距离z关系曲线,并同时通过光学系统测量了针尖的关于频率的一次受力信号Fw与z的关系曲线。推导了两种测量方法所获曲线的内在关系,并获得了针尖与样品的表面势之差。并且,利用此系统测量了Al0.3Ga0.7N/GaN薄膜的微区C-V曲线,获得和宏观C-V曲线趋势一致的结果。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室