科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
光伏行业在蓬勃发展，作为光伏电池生产中核心工艺设备的PECVD设备的反应炉和载片机构也随着硅片尺寸的持续增长而不断增大，直至原有炉管使用的常规加热系统已经无法满足要求，为了保证热控及生产效果，必须对设备进行开发优化以提质。在此情况下，我们就如何制造一种用于PECVD反应炉中的辅助加热装置，并且使此装置能够保证工艺效果而展开了相关研究。
- 单位
光伏行业在蓬勃发展，作为光伏电池生产中核心工艺设备的PECVD设备的反应炉和载片机构也随着硅片尺寸的持续增长而不断增大，直至原有炉管使用的常规加热系统已经无法满足要求，为了保证热控及生产效果，必须对设备进行开发优化以提质。在此情况下，我们就如何制造一种用于PECVD反应炉中的辅助加热装置，并且使此装置能够保证工艺效果而展开了相关研究。
