多晶硅生产中废气处理工艺改造

作者：马自玉

来源：化工管理, 2019, (01): 85-86.

• 多晶硅
• 废气处理
• 工艺改造

多晶硅作为一种电子产业、太阳能应用产业中的常用材料,随着近年来的科技水平与产业发展实际,导致中国的多晶硅的需求量也逐渐增加。对此文章将结合多晶硅生产工艺流程,探究废气处理期间存在的问题与工艺改造的方法,期待能为产业发展提供参考。