离轴抛物面镜复合抛光技术研究

作者：朱德清; 李扬; 房建国; 赵宏鑫

来源：航空精密制造技术, 2023, 59(02): 9-12.

• 先进光学制造
• 机器人
• 离子束抛光
• 离轴非球面

在以机器人控制小工具抛光及离子束抛光为核心的复合加工及检测技术中，首先使用机器人柔性气囊抛光工具及金属磨盘对非球面镜面进行快速研磨及抛亮，随后采用沥青磨盘对中频误差进行匀滑加工，最终使用离子束抛光技术将非球面面形修形到最终要求。随后采用三坐标测量机来检测研磨及粗抛光阶段的面形误差，精抛光阶段面形误差的检测则采用零位干涉检测技术进行。通过使用上述方法对一口径为408mm的离轴非球面镜的加工与检测，最终使其面形精度达到0.015λ(λ=632.8nm)，满足了设计要求。

• 单位
  北京航空精密机械研究所