基于菲涅尔衍射的钢珠直径及圆度误差的测量

作者：朱昊; 徐利; 何明耀; 付艳华; 李瑞贤; 王晴岚

来源：激光与光电子学进展, 2021, 1-17.

• 菲涅尔衍射
• 梯度Hough变换
• 直径测量
• 圆度误差

针对目前钢珠类球形部件的直径和圆度测量系统较为复杂、测量仪器成本较高等问题，提出一种基于菲涅尔衍射的钢珠直径和圆度误差的测量方法。利用圆点标定板校准圆球菲涅尔衍射的峰值点和投影边缘的关系，根据光强分布曲线测量钢珠直径及圆度误差。实验结果表明，在不考虑钢珠表面的漫反射及散射的情况下，对直径为毫米级别的钢珠进行测量时，其直径和圆度误差的测量不确定度分别在0.0031mm（置信水平95%）和0.0046mm（置信水平95%）以内。该测量系统的组成简单，无需额外的光学系统，且成本较低。

• 单位
  湖北汽车工业学院; 信息工程大学