一种扭转谐振式MEMS电场传感器

作者：储昭志; 彭春荣; 任仁; 凌必赟; 张洲威; 夏善红^*

来源：传感器与微系统, 2019, 38(06): 83-88.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2019)06-0083-03

• 微机电系统(MEMS)
• 电场传感器
• 扭转谐振

提出了一种基于微机电系统(MEMS)的扭转谐振式电场传感器。该微型电场传感器的感应电极与屏蔽电极采用共面叉指结构,首次采用扭转谐振的工作方式,显著提高了微型电场传感器的灵敏度。介绍了传感器的工作原理、结构设计、有限元仿真及实验。实验结果表明:在0～50 kV/m电场范围内,该传感器的线性度为0. 14%,3个往返行程的总不确定度优于0. 43%。在增益电阻为100 MΩ的情况下,传感器灵敏度达到4. 55 mV/(kV/m),相对已有传感器灵敏度提高了1个数量级。

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院电子学研究所