铌酸锂晶体铁电畴电极化反转结构的ESEM观察

作者：姚琲; 李春艳; 张长亮; 薛涛; 桑梅; 王慧

来源：人工晶体学报, 2005, (01): 120-123.

DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2005.01.027

• 铌酸锂
• 铁电畴
• 电场极化
• 反转
• 环境扫描电镜

采用电脉冲极化方法制作出周期性反转电畴微结构。利用热腐蚀法制备出用于环境扫描电镜 (ESEM)研究反转电畴结构的样品。通过ESEM的观察与分析,在光栅电极下方,铁电畴发生了极化反转,反转区域在Y方向上有所扩展,在Z方向逐渐变窄,没能贯穿整个晶片。通过控制光栅电极的纵宽比和电压脉冲的参数,可以在晶片的表面或一定深度得到占空比为 1∶1的正、负铁电畴交替排列的结构,达到准相位配的目的。观测到竹叶状二次电子图像衬度,它是由制样过程中局部产生应力造成的,这说明利用ESEM可以研究压电材料中的电荷分布。

• 单位
  天津大学; 电子工程学院