布喇格反射型宽带单晶薄膜体声波滤波器

作者：王晓学; 帅垚^*; 田本朗; 白晓园; 吕露; 简珂; 罗文博; 吴传贵; 张万里

来源：压电与声光, 2020, 42(03): 303-306.

• BAW滤波器
• 离子注入剥离法
• 铌酸锂单晶薄膜
• 机电耦合系数
• 苯并环丁烯

该文研究了一种新型布喇格反射型薄膜体声波(BAW)滤波器的设计方法与制备技术。BAW器件选择机电耦合系数较大的Y43°-铌酸锂(Y43°-LN)单晶薄膜作为压电层材料,并以苯并环丁烯(BCB)作为晶圆键合层,采用离子注入剥离法将亚微米厚度的Y43°-LN单晶薄膜转移至具有布喇格反射层的衬底。BCB既作为键合层,也作为布喇格反射层的第一低声阻抗层,实现了单晶BAW滤波器的制备。设计并制备了三阶BAW滤波器,中心频率为2.93 GHz,绝对带宽和分数带宽分别为247 MHz和8.4%。结果表明,采用薄膜转移技术制备的高机电耦合系数LN单晶薄膜能够实现大带宽BAW滤波器的制备。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学