SHJ太阳电池叠层减反结构及光电性能研究

作者：周杰; 俞健; 马忠权; 刘正新^*

来源：太阳能学报, 2020, 41(02): 303-309.

DOI：10.19912/j.0254-0096.2020.02.044

• 叠层减反射
• 光电特性
• 低温退火
• SHJ电池

创新性提出低温退火下异质结(SHJ)太阳电池的叠层减反射结构。采用等离子体增强化学气相沉积技术在沉积金属电极后的SHJ太阳电池入光面依次沉积SiNx和SiOx薄膜,形成SiOx/SiNx/IWO三层减反射膜,则电极部分为SiOx/SiNx/Ag/IWO的叠层结构,经低温退火银浆穿透表面介电薄膜形成导电通路。结果表明,SiOx/SiNx/IWO叠层具有优异的光学透过性,并显著降低电池表面反射损失。与单层IWO薄膜相比,厚度分别为90、30、60 nm的SiOx/SiNx/IWO的三层减反射膜使平均反射率下降至5.9%,对应波段外量子效率显著提高,SHJ电池短路电流密度和转换效率分别提高1.22 mA/cm2和0.96%,具有巨大的应用潜力。

• 单位
  上海大学; 中国科学院上海微系统与信息技术研究所