磁控溅射法制备纳米级ZnS薄膜及其性能研究

作者：唐茜; 黎兵; 刘才; 李愿杰; 冯良桓; 李卫

来源：四川大学学报(自然科学版), 2008, (03): 619-622.

• ZnS
• 纳米级薄膜

用磁控溅射技术在玻璃衬底上获得了取向单一的纳米级ZnS薄膜.研究了衬底温度对薄膜结构的影响.得出400℃时沉积的薄膜结晶最好,为六方纤锌矿结构,在可见光范围内有较高的透过率,其光能隙为3.81 eV.

• 单位
  四川大学