压电谐振式水平姿态传感器研究

作者：路峻岭; 田文杰; 张伟; 张福学

来源：电子元件与材料, 2004, 23(08): 24-26+50.

DOI：10.3969/j.issn.1001-2028.2004.08.009

• 电子技术
• 压电石英
• 原理结构
• 水平姿态传感器
• 性能指标

介绍了利用石英晶片频率的力敏效应制作的水平姿态传感器及其敏感头的结构。分析了敏感头结构参数与传感器的标度因数、线性度等技术指标的关系,并指出了该传感器需要进一步研究的问题。目前,压电谐振式水平姿态传感器样机的分辨率优于0.001 4°,在2°的范围内,标度因数达1.60 Hz/5″,非线性度不大于0.13%。

• 单位
  清华大学; 北京信息工程学院