KDP晶体潮解抛光中抛光行程的研究

作者：刘佳航; 郭少龙; 潘丽莉; 白浩辰; 张庆怀

来源：哈尔滨商业大学学报(自然科学版), 2023, 39(01): 67-71.

DOI：10.19492/j.cnki.1672-0946.2023.01.012

• 晶体
• KDP
• 抛光
• 潮解作用
• 抛光行程
• 材料去除率

对KDP晶体潮解抛光过程进行了运动学分析，得到了KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的抛光行程的表达式.分别计算了KDP晶体表面上一点到载样盘圆心的水平距离、抛光垫转数、摆动周期取不同值时KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的抛光行程，并绘制了抛光行程曲线，得到了这些参数对抛光行程的影响规律.

• 单位
  哈尔滨商业大学