大于3 GHz超宽带FBAR滤波器结构设计与仿真

作者：陈功田; 谢若渊; 孙景; 张伟; 杨斌^*

来源：压电与声光, 2023, 45(05): 663-666.

• 薄膜体声波谐振器
• FBAR滤波器
• 超宽带体声波滤波器
• 氮化铝

该文提出了一种获得相对带宽约为70.61%的基于氮化铝薄膜的超宽带薄膜体声波谐振器(FBAR)滤波器的设计方法，即在中心频率为6.5 GHz下滤波器的带宽为4.835 GHz。仿真分析表明，通过串并联电感的方式，并在电感端串并联电容，可消除因增加电感而带来的谐波谐振点干扰对带通的影响，实现了FBAR滤波器的超宽带。该工作开辟了设计和制作带宽超过3 GHz的超宽带体声波滤波器的新途径。

• 单位
  湖南大学; 中国电子科技集团公司第二十六研究所