低压腔室内流速分布规律研究

作者：吴宗跃; 杨铁牛^*; 黄尊地; 赵蕾蕾; 杜华娜

来源：真空科学与技术学报, 2019, 39(03): 197-205.

DOI：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.03.03

• 真空腔室
• 激光多普勒测速仪
• 流速
• 多因素
• 回归分析

工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研究腔室压强、进气量、温度、间距等因素对腔室内气体流速的影响,利用激光多普勒测速仪对腔室进行内流速测量实验,从而研究流速的分布规律及各个变量对流速规律的影响,并在中轴线方向上建立多元线性回归模型。结果表明:当进气量、温度越大,流速越大。当压强、间距越大,流速越小。四个因素对中轴线上流速大小影响排序为:压强(p)>进气量(Q)>温度(T)>间距(G)。

• 单位
  五邑大学