多层膜晶界和膜界间竞比变形及其对硬度测量的影响

作者：刘明霞; 马飞; 黄友兰; 黄平; 余花娃; 张建民; 徐可为

来源：金属学报, 2007, (06): 603-606.

• 多层膜
• 硬度
• 压入深度
• 调制波长
• 晶界 multilayer film
• hardness
• indentation depth
• modulated period
• grain boundary

使用磁控溅射法制备了不同调制波长的Ni/Al多层膜,利用X射线衍射(XRD)和高分辨电子显微术(HRTEM)对薄膜进行了微结构表征,采用连续刚度法(CSM)研究了不同压入深度下多层膜的硬度．结果表明,随调制波长减小,薄膜呈纳米晶结构特征且存在超硬效应．调制波长L大于30 nm时,纳米压入硬度随压入深度的增加而升高;L小于30 nm时,最大压入深度的硬度测量值反而最小．同时发现压入深度较小时硬度相对大小对调制波长不敏感．结合微结构表征,从晶界和膜界的竞比变形角度进行了分析讨论．

• 单位
  西安交通大学; 陕西师范大学; 金属材料强度国家重点实验室