激光位移测量试验系统设计

作者：秦伟; 李娟; 张昌明

来源：应用激光, 2021, 41(03): 614-618.

DOI：10.14128/j.cnki.al.20214103.614

• 位移测量
• 电流转电压电路
• 一维位置敏感器
• 自动位移

为提高一维位置敏感器PSD激光微位移测量的精度和稳定性,设计位移测量试验系统。系统采用PSD作为位移检测传感器,使用OPA211低噪运算放大器设计电流转电压(I/V)信号调理电路,以单片机STM32F103为控制器,控制步进电机滑台移动激光光源,采用ADS1256采集位移信号,实现自动位移及位移测量系统。试验测量结果表明,该系统在0～14 mm范围内具有较好的线性,位移测量误差小,测量误差不超过±20μm。

• 单位
  陕西理工大学