双质量块MEMS陀螺内互联引线的设计与实现

作者：张方媛; 牛昊彬; 闫鑫; 陈旭辉; 李关红

来源：中国惯性技术学报, 2021, 29(03): 394-405.

DOI：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2021.03.018

• MEMS陀螺
• 双质量块
• 内互联
• 品质因数

为了进一步提高微机电(MEMS)陀螺在体积、重量和功耗上的优势,开展了MEMS双质量块陀螺密封腔内互联引线设计,该设计增大了陀螺的有效设计面积,减少了芯片体积,实现复杂信号引线布线。设计了齿状互联引线接口结构,分别选用Al和AlCu作为互联引线材料进行对比试验,同时对比分析了电极厚度对键合面和导通性的影响。最终确定合适的工艺参数为:伸入键合区长度为20μm,齿状数目为10,电极材料为Al,厚度为0.2μm。完成了基于该引线设计的双质量块陀螺制作,实现信号导通。样机测试结果表明,其真空密封品质因数能够达到200000以上。

• 单位
  中国航空工业集团西安飞行自动控制研究所