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摘要
为提高蒸发镀膜机内基板温度均匀性，以蒸发镀膜机为研究对象进行建模，采用COMSOL有限元软件对真空环境下的基板加热器温度场进行有限元仿真，并耦合PID算法用于温度控制，揭示了基板温度分布规律。在此基础上对基板温度均匀性的影响因素进行研究，并借助Nelder-Mead单纯形法对加热系统进行优化。结果表明，当顶加热丝间距与侧加热丝间距为1∶1.23、加热距离为440 mm、反射距离为3.56 mm时，基板表面最大温差由优化前的16.5℃降低至9.9℃，温度均匀性得到改善。最后，结合实测数据分析显示，仿真结果与实测数据误差为6%，验证了优化的有效性。
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