显微镜一词源于希腊语mikros和skopeo,显微镜主要分为光学显微镜、离子显微镜和扫描探针显微镜,光学显微镜随处可见,而电子和离子显微镜比较少见,他们主要是利用电磁以及静电透镜的方式聚焦带电离子,最终形成图像。目前,电子显微镜的分辨率已经精确到0.05nm,是一般光学显微镜的4000倍,人眼的400万倍。针对飞利浦电子显微镜进行相关研究,对故障检测与排除提供帮助。
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