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摘要
环形谐振腔可用于高精度高灵敏度传感，本文将环形谐振腔与悬臂梁式压力传感器相结合，推导了该压力传感器的灵敏度的表达式，灵敏度会随着所施加压强的不同而变化，当施加的压强为1kPa时，灵敏度为71.73pm/kPa。采用低损耗的LNOI（绝缘体上铌酸锂）来设计环形谐振腔，极大地提高了压力传感器的Q值，可提高测得压力的精度。深入分析了临界耦合与非临界耦合、波导损耗、环形波导周长对Q值的影响，并借助Matlab对其进行了分析，结果表明：对Q值影响最大的是波导损耗；环形波导周长增加不会直接增大Q值，但会降低损耗，从而间接增大Q值。计算结果表明，当环形波导半径为80μm，损耗为0.6322m-1时，Q值高达5.7×106。
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