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摘要
选择目前市场主流的M10单晶PERC作为研究对象，就PERC生产技术中较为通用的SE掺杂技术进行分析。通过调整SE掺杂技术中的激光划线速度及激光功率参数，对各组别硅片和电池的性能参数进行测试和数据分析。针对激光划线速度分析了参数变化对硅片方块电阻的影响，并对最终电池性能参数进行了验证。通过调整激光功率，验证方块电阻的变化，并通过ECV测试分析不同功率下掺杂浓度随结深的变化趋势，对应效果在电学性能测试中也有体现。
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单位山西机电职业技术学院
