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摘要
采用溶胶-凝胶法在复合基底Pt/Ti/SiO2/Si上制备系列Bi3.25Ce0.75Ti3O12(BCTO)铁电薄膜，并对薄膜进行了不同剂量的γ射线辐照。通过热重-示差扫描量热分析仪(TG-DSC)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜-能谱仪(SEM-EDS)和铁电测试仪等对辐照前后的薄膜的结构、微观形貌、铁电性、漏电性以及抗疲劳性等进行了对比研究。结果表明：随着对γ射线吸收剂量的增加，薄膜的晶体结构没有改变；薄膜的铁电性能显著减弱，剩余极化2Pr从辐照前的51.5μC/cm2下降到23.7μC/cm2；薄膜的漏电流密度增大，从辐照前的0.9×10-7 A/cm2增大到7.2×10-7 A/cm2；在经历1012次开关极化循环后，部分薄膜出现疲劳现象。
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