离子束溅射制备“日盲”紫外诱导透射滤光片

作者：邓文渊; 金春水

来源：光学精密工程, 2011, (12): 2884-2890.

• 离子束溅射
• “日盲”紫外诱导透射滤光片
• ZrO2
• 折射率
• 消光系数
• 椭偏光谱 ion beam sputtering
• Solar Blind UV Induced Transmission Filter(SBU-ITF)
• ZrO_2
• refractive index
• extinction coefficient
• ellipsometric spectrum

对"日盲"紫外诱导透射滤光片进行了理论设计与分析,并分别优化了离子束溅射法沉积ZrO2、SiO2和Al薄膜的工艺。利用反射与透射光谱反演获得了ZrO2和SiO2薄膜的光学常数,并由JGS1/SiO2/Al/SiO2/air(SAS)样品的变角度椭偏光谱反演精确获得了Al薄膜的光学常数。在此基础上,采用离子束溅射沉积方法并利用上述3种薄膜材料优化制备了"日盲"紫外诱导透射滤光片,测量了滤光片的光谱性能。光谱性能分析表明,滤光片的峰值波长位于264nm,峰值透过率大于60.0%,透过峰带宽(FWHM)约为13nm,在300～350nm波段的截止度达到了2.6OD。研究认为制约离子束溅射制备"日盲"...

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室