特种气体的配气装置及方法

来源：低温与特气, 2019, 37(02): 51.

<正>申请(专利)号:201710822033. 8公开(公告)日:2018-03-13申请(专利权)人:清远先导材料有限公司摘要:本发明涉及一种特种气体的配气装置,所述配气装置包括置于同一高度的N个同样的目标气瓶、N根金属管、一分流圆轴,每一目标气瓶通过一根金属管连接在分流圆轴上,所述分流圆轴与原料瓶组通过管道连通,所述原料瓶组包括一原料瓶柜以及置于原料瓶柜内的若干原料瓶,所述管道上设置有阀门。本发明特种气体的配气装置及方法,