多孔SiO2为栅介质的IGZO基双电层薄膜晶体管

作者：崔胜战; **豪; 王晓新; 阙怡涵; 马卓杰; 杜路路

来源：电子世界, 2021, (15): 21-22.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2021.15.009

• EDL
• SiO_2
• 双电层
• 晶体管
• 栅介质

<正>薄膜晶体管的低电压操作一直是研究者期待解决的问题。双电层电容具有巨大的电容,被认为是低功耗电子器件有希望的候选材料。我们以磁控溅射技术沉积多孔SiO2固态电解质薄膜为介质层,制备了铟镓锌氧(InGaZnO:IGZO)基双电层薄膜晶体管(EDLT)。

• 单位
  电子工程学院