摘要

研制一套同时具有时间分辨及空间分辨能力的超快电子衍射(UED)系统,理论时间分辨能力达到300fs,空间分辨能力160lp/mm,并对该系统进行了静态性能分析。实验表明,优化后系统电子束直径约为300μm,电子打靶角度约为0.09°,同时对x和y偏转板的灵敏度、电子束斑尺寸及位置稳定性进行定量分析,利用该系统进行多晶铝膜电子衍射实验,分析衍射图样表明系统最小可以分辨单个晶格间距的0.36%。