“新基建”环境下光电子产业基础能力建设的探索

作者：韩国忠

来源：半导体光电, 2020, 41(03): 301-305.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2020.03.001

• 新基建
• 光电子技术产业
• 外延生长
• 光刻
• 智能制造
• 数字化制造
• 分散化制造
• 绿色制造

"新基建"为光电子产业的进一步发展提供了难得的机遇,光电子产业自身的发展应首先加强基础研发能力建设。文章描述了化合物半导体光电子器件的外延生长、薄膜淀积、光刻、键合等主要工艺制程的特点;分析了光电子产业中智能制造、数字化制造、分散化制造、绿色制造等能力建设趋势。