用于光-机械式热型红外传感器的高性能热变形梁及其应用

作者：张青川; 史海涛; 程腾; 焦斌斌; 高杰; 陈大鹏; 伍小平

来源：2013-03-06, 中国, ZL201010286120.4.

一种用于光-机械式热型红外传感器的高性能热变形梁及其应用,包括有梁体,其特征在于所述的梁体具有一体连接的两层或多层的波纹层并显示出各波纹层的上、下表面具有波纹,各波纹层相互贴合,各波纹层中具有两个热膨胀系数不同的主要波纹层,各波纹层波纹的各个波峰、波谷及相邻波纹层的接合面的各个波峰、波谷具有相同的弯折或弯曲的趋势。本发明的性能远高于平直结构的普通热变形梁,因此基于本发明的光-机械式热型红外传感器同时具有高空间分辨率和高响应率。本发明可由标准的微机械工艺制成。