一款弹簧式导向柱塞挡块替换方案设计

作者：徐立华

来源：装备制造技术, 2020, (11): 69-71.

• 非标配件
• 替换
• 结构
• 设计

对一款晶圆治具上的配件进行分析,找出其工作特性和性能要求,通过查找原有资料和数据设计了一种的替换结构,零件外形和尺寸设计便于加工,计算并选用了替换弹簧,通过然后通过零件的加工制造和配件装配测试,满足了使用要求。

• 单位
  苏州工业职业技术学院