全数字化激光直写转台系统

作者：梁宜勇

来源：光电工程, 2004, (05): 1-3+10.

• 激光直写
• 转台系统
• 微光学 Laser direct writing
• Rotating platform system
• Micro-optics

为提高极坐标激光直写设备的性能,设计成全数字化的转台系统,增强了与平台、调焦、 光强系统的同步。提出数字锁相积分、可编程PID控制及变周期稳速判据等概念,并应用于转台控制器设计。配合改进的快速光强调制系统,使极坐标激光直写设备具备制作精确环、任意弧和变宽线条的能力。