数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统及测量方法

作者:王永红; 高新亚; 但西佐; 孙方圆; 赵琪涵; 杨连祥
来源:2017-03-17, 中国, ZL201710161241.8.

摘要

本发明公开了一种数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统及测量方法,其特征是:低相干激光器的出射光经分光片后分为透射光和反射光,透射光经扩束后照射被测物面,反射光经平面镜和扩束镜后照射被测物面;测量面漫反射的光经分光棱镜后分为两束光;两束光分别经平面镜、光阑、成像透镜和分光棱镜后同时成像到CCD相机上。本发明可对被测物的微小面内变形进行动态测量,是一种全场、高精度、易操作的测量系统。