不同制备方法下银薄膜的光电学性质比较

作者：林建平; 沈志成; 王礼枫; 莫小强; 关贵清; 敖晖

来源：宁德师范学院学报(自然科学版), 2016, 28(03): 225-239.

DOI：10.15911/j.cnki.35-1311/n.2016.03.003

• 石英基片
• 银薄膜
• 磁控溅射
• 热蒸发
• 光电学性质

分别用磁控溅射和热蒸发的方法,在空白石英基片上室温沉积厚度300 nm的银薄膜样品,研究不同制备方法对样品的微观结构和光电学性质的影响.微观结构利用X-射线粉末衍射仪和扫描电镜观测,光电学性质应用分光光度计及Van der Pauw方法检测.结果表明,制备方法不同引起银薄膜样品的晶粒择优取向不同,磁控溅射制备的银薄膜(Sputtering Ag)的结晶性能比热蒸发制备的银薄膜(Evaporation Ag)结晶性能好;两种方法制备的银薄膜的光学反射率随波长的变化规律基本相同,在可见光和红外光区域,Evaporation Ag的光学反射率比Sputtering Ag稍高,且均超过95%;薄膜的电阻率都接近银块体材料的电阻率,但Sputtering Ag的电阻率为2.6μΩ·cm比Evaporation Ag的电阻率(2.8μΩ·cm)小.

• 单位
  宁德师范学院