本发明公开一种中空二维压电惯性冲击驱动平台,包括方形平台、封装盖板和固定底座,方形平台由方形外框、方形内框、位移放大机构和压电驱动器组成,封装盖板设置柔性机构并安装在方形平台的上表面,方形平台通过方形外框的四角部位与下表面的固定底座摩擦耦合,在压电驱动器锯齿波激励电压下实现惯性冲击运动。本发明采用中心镂空的结构设计提供观测孔径,采用摩擦耦合调整机构保证冲击驱动的稳定性,可进一步提高多自由度跨尺度精密驱动定位在SEM等显微成像系统中的应用效果。
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