一种新型高效率负压电荷泵

作者：李成; 赵野; 苗林; 杨林

来源：微电子学, 2019, 49(05): 643-647.

DOI：10.13911/j.cnki.1004-3365.180490

• 3D NAND存储器
• 负高压
• 电荷泵
• 高效率

提出了一种高效率、具有较大电流驱动能力的负压电荷泵。该电荷泵采用三阱CMOS工艺,通过减小寄生电容和传输晶体管的导通电阻,消除了阈值电压损失和NMOS传输晶体管体效应,提高了电荷泵的每级增益。基于0.32μm CMOS工艺对电荷泵进行了仿真验证。结果表明,相比传统负压电荷泵,该新型负压电荷泵具有较高的输出效率,最大输出效率可达82%。

• 单位
  中国科学院大学; 中国科学院微电子研究所