林德启用全新制氮机，为积塔半导体供气

作者：Grace

来源：化工装备技术, 2020, 41(03): 7.

DOI：10.16759/j.cnki.issn.1004-017x.2020.03.020

<正>2020年5月7日,英国吉尔福德林德宣布,其为积塔半导体建造的1台制氮机在上海开机成功,林德与积塔半导体签订了1份为期20年的超高纯工业用气供应合约,目前开机运行的为计划建造的两台高纯制氮机中的第1台,第2台预计将于2022年上线启用。该制氮机位于上海临港产业区,其安装和运行工作由林德旗下合资企业联华林德(Linde Lien Hwa)负责。该制氮机将为积塔半导体造价高达51亿美元的晶圆制造厂供应各种超高纯度气体(如氮气、氧气、氩气、