退火工艺对镀Au键合Ag线性能的影响研究

作者：范俊玲

来源：金属热处理, 2018, 43(11): 140-143.

DOI：10.13251/j.issn.0254-6051.2018.11.029

• 镀Au键合Ag线
• 退火
• 拉断力
• 伸长率
• 电阻率

利用扫描电镜、单纤维强度测试仪、双臂电桥等研究了镀Au键合Ag线不同退火温度/时间下的力学性能和电学性能,分析热处理参数对镀Au键合Ag线性能的影响规律,研究结果表明:在400℃退火温度下,随着退火时间的增加,AuAg镀Au键合Ag线拉断力先降低后略微增加,伸长率提高,线材表层Au原子少量扩散到Ag线基体中。在0.8 s退火时间下,拉断力随退火温度升高而降低,其伸长率增加。退火温度高于425℃,线材表层Au原子快速扩散到Ag线基体中,其拉断力增加、伸长率增加。退火温度500℃时,线材综合力学性能降低。随着退火时间和退火温度的增加,AuAg镀Au键合Ag线的电阻率呈先下降后升高的趋势,其中退火温度对电阻率影响较大。经400℃、0.8 s退火,线材具有较优的力学和电学性能,其拉断力为9.8×10-2N,伸长率12.5%,电阻率为ρ=0.01659×10-6Ω·m,。

• 单位
  焦作大学