自组装超薄膜修饰Ta_2O_5介质膜及其特性研究

作者：杨亚杰; 徐建华; 蒋亚东; 闻俊峰

来源：Acta Chimica Sinica, 2012, (08): 961-967.

• 静电自组装
• Ta2O5
• 耐压能力
• 等效串联电阻
• 漏电流 electrostatic self-assembly
• anti-voltage endurance ability
• equivalent series resistor
• leakage current

采用静电自组装方法在五氧化二钽(Ta2O5)介质氧化膜上制备了聚二烯丙基二甲基氯化铵(PDDA)/聚苯乙烯磺酸钠(PSS)和聚二烯丙基二甲基氯化铵/聚-3,4-乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸钠(PEDOT-PSS)超薄膜.研究了两种自组装超薄膜在Ta2O5介质氧化薄膜上的组装特性.结果表明两种自组装膜能够稳定地组装于Ta2O5介质膜表面,并有效降低薄膜的表面粗糙度.进一步研究了两种自组装超薄膜修饰的Ta2O5电容结构的电性能.结果表明静电自组装膜对Ta2O5介质膜表面进行修饰后,有效地隔离了介质氧化膜中的缺陷,降低了电容的漏电流并提高耐电压能力;研究还发现不同厚度的超薄膜对Ta2O5电容结构的耐压...

• 单位
  光电信息学院; 电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室