微细电火花加工技术是微细加工领域中的一个重要发展方向,正向实用化快速发展,但是一些关键问题还制约着整体发展。介绍了加工装置、电极制备,以及工艺参数、放电状态检测与控制、微细电极损耗补偿等方面的研究进展,概述了微细电火花加工技术的研究热点和未来的发展趋势。