选择不同的衬底对粉末试样进行能谱分析，研究了衬底对粉末试样能谱分析结果的影响。结果表明：当衬底中的元素与试样中的元素存在特征X射线谱峰重叠现象时，面扫描谱图中元素的亮点分布异常，导致无法获得理想的能谱分析结果。列举了几种常用衬底及与其谱峰重叠的元素，有利于快速地选择合适的衬底，以获得理想的能谱分析结果。
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