一种面向MEMS矢量水听器的硅纳米线制备方法

作者：史一明; 齐秉楠; 白建新; 宋金龙; 王卫东; 王任鑫^*

来源：中北大学学报(自然科学版), 2020, 41(05): 455-460.

• MEMS矢量水听器
• 硅纳米线
• 自上而下法
• TMAH各向异性腐蚀
• 干法刻蚀
• 半导体工艺

为了进一步提高MEMS矢量水听器灵敏度,把硅纳米线作为压敏单元,将硅纳米线工艺引入到MEMS矢量水听器制备过程中,利用其所具有的巨压阻效应来提高MEMS矢量水听器的灵敏度.本文提出了一种自上而下的微加工工艺方法,将TMAH(四甲基氢氧化铵)各向异性腐蚀和干法刻蚀法结合来制备出硅纳米线,其中TMAH腐蚀形成屋檐结构,干法刻蚀形成氧化硅掩模图形以及硅纳米线.该制备方法与半导体工艺相兼容,能够实现与MEMS水声传感器的集成.

• 单位
  中北大学