摘要

本发明属于等离子体监测和分析技术领域,公开了一种高精度高时空分辨率三维测定方法、系统、介质及应用,采用高精度高时空分辨率的静电探针和远红外激光干涉仪作为基准,通过创新设计,建立等离子体电子密度与光强对应关系模型和电子密度时空分布与光强时空分布对应关系模型,实现高分辨高速光学成像系统的高精度高时空分辨率的等离子体非接触式诊断。本发明利用各种不同的滤光片可以实现对电子密度和电子温度测量的解耦。在低气压到高气压条件下,不同电离率条件下,需考虑光强和气压条件和电离率条件的关系,完善不同条件下的标定系数和解耦特征,以提高测量精度。本发明实现了高速目标等离子体高时间分辨率、高空间分辨率和高精度诊断。