纳米真空互联大装置（Nano-X）及其应用进展

作者：丁孙安; 杨辉

来源：真空, 2019, 56(06): 60-63.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.11

• 纳米
• 表面污染
• 真空环境
• 真空互联大装置
• 重要进展

进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定。为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中。本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能,以及支持项目和取得的重要进展。

• 单位
  中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所