纳秒激光刻蚀非等截面微沟槽工艺研究

作者：张亮; 魏昕^*; 汪永超; 李元可

来源：应用激光, 2023, 43(10): 105-111.

DOI：10.14128/j.cnki.al.20234310.105

• 激光技术
• 非等截面结构
• 毛细压力
• 微沟槽

为提高微沟槽吸液芯的毛细性能，采用V字扫描法在紫铜板上刻蚀非等截面微沟槽，研究激光光斑间距、扫描速度、扫描次数、脉宽和频率等工艺参数对非等截面微沟槽形貌尺寸的影响规律。研究发现，随着激光光斑间距增大，沟槽宽度也随之增大，沟槽深度呈现先增大后减小的趋势，沟槽表面粗糙度则先减小后增大；V字扫描法的路径间距在10～30μm时刻蚀出的沟槽形貌最佳且两端毛细压力差较大；当激光扫描次数为50次，扫描速度为100 mm/s,频率40 kHz,脉宽120 ns时，纳秒激光刻蚀的非等截面沟槽两端毛细压力差较大。该研究可为提高沟槽式均热板的传热性能提供参考。

• 单位
  广东工业大学; 广州番禺职业技术学院