科研之友
微信
新浪微博
Facebook
分享链接
摘要
本发明公开了一种用于车身悬架系统的电容式加速度传感器及制备方法,包括隔离框层、敏感层、埋氧层、空腔层和玻璃衬底,隔离框层设置在敏感层的一侧,埋氧层设置在敏感层的另一侧,空腔层设置在埋氧层远离敏感层的一侧。本发明采用双排梳齿的结构增加了梳齿电极的数量,相对于其他单排梳齿传感器结构有效地提高了电容式加速度传感器的灵敏度。固定梳齿电极与可动梳齿电极构成不等高梳齿结构,八组不等高梳齿构成检测Z轴加速度的差分检测结构,从而抵消非敏感轴方向对Z敏感轴的干扰。本发明采用单边凹槽单边阻尼孔的结构,减小阻尼的同时还偏移了敏感质量块质心的位置,增大了梳齿偏转的角度,以提高传感器的灵敏度。
- 单位
