一种无阀压电微泵的研究

作者：王海宁; 崔大付; 耿照新; 刘长春; 陈兴

来源：压电与声光, 2006, (06): 668-670.

• 无阀
• 微泵
• 压电双晶片
• PDMS valveless
• micropump
• piezoelectric bimorph
• PDMS

介绍了一种适用于微流体系统的无阀微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,利用硅各向异性腐蚀形成扩散口/喷口结构,并利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单,使用寿命长,具有良好的液体驱动性能。对于使用15 mm长的压电双晶片作为驱动器的压电无阀微泵,在100 V6、0 Hz、占空比为1的方波驱动下,最大流速可达151μL/min。

• 单位
  传感技术国家重点实验室; 中国科学院电子学研究所