基于355nm紫外激光切割柔性覆铜板的工艺参数优化

作者：刘文鑫; 陈志城; 李岩; 陈广玉; 黄柳青; 罗学涛

来源：中国激光, 2022, 1-27.

• UV激光切割
• 柔性覆铜板（FCCL）
• 临界切割能量
• 工艺参数

针对紫外激光切割柔性覆铜板时出现焦黑碳化、过熔及多余能量损耗等问题，采用355 nm紫外纳秒激光切割机对49μm聚酰亚胺双面无胶柔性覆铜板进行激光切割实验：通过预切割发现并遍历参数验证切割覆铜板的最小能量—“临界切割能量”。在此基础上，研究了切割参数对柔性覆铜板表面形貌、截面形貌、碳化程度、刻缝宽度及表面、截面成分变化的影响。实验结果表明，激光切割的切割速度、切割功率和重复切割次数对柔性覆铜板的切割质量有重要影响，提升切割速度、保持适中切割功率、降低重复切割次数能够获得切口光滑、无积碳的高质量、低功耗切割效果。并根据以上结果可得出本实验条件下的最佳工艺参数：切割速度为2000 mm/s，切割功率为12 W，重复切割次数为70次。本实验研究结果不仅为实现柔性覆铜板的高质量、低能耗激光切割提供工艺依据，而且适用于柔性电路板、聚酰亚胺覆盖膜及补强板等通过激光切割塑形的材料。

• 单位
  材料学院; 厦门大学