面向SOI波导-单模光纤耦合的硅微透镜设计

作者：李雄飞; 韩明玺; 疏静; 王雷; 桂桑; 岳玉涛; 顾文华^*

来源：激光与红外, 2022, 52(09): 1395-1401.

• 硅波导
• 单模光纤
• 硅微透镜
• 耦合
• 集成

硅光集成的优势在高速光电子领域不断凸显，被广泛应用于各种通信场景中。在硅基集成技术发展过程中，其面临的一个典型技术难点是硅波导与单模光纤的耦合。本文设计了波导边缘集成的硅微透镜结构，经BPM法(Beam Propagation Method)计算验证该结构可实现3μm厚SOI波导与纤芯直径8.6μm单模光纤90%的近场耦合效率，具备高集成度、高耦合效率、多场景适用等优点。

• 单位
  南京理工大学