中国科大6G滤波器研发取得重大突破

来源：智能建筑与智慧城市, 2022, (06): 4.

<正>近日，中国科学技术大学在6G滤波器领域取得重要进展，该研究成果由微电子学院左成杰教授研究团队在铌酸锂（LiNbO3）压电薄膜上设计并实现了Q值超过100000的高频（6.5GHz）微机电系统（MEMS）谐振器，与文献中现有的工作相比，