热释电红外读出电路的设计与验证

作者：胡滨; 李威; 李平

来源：微电子学, 2012, (04): 469-472.

• 红外焦平面阵列
• 读出电路
• 浅耗尽MOS晶体管
• 电阻反馈跨阻放大器 Infrared focal plane array
• Read-out IC
• Native MOS transistor
• RTIA

设计并验证了亚阈区MOS管作反馈大电阻的电阻反馈跨阻型(RTIA)非制冷热释电红外焦平面读出电路。在此基础上,对采用浅耗尽(Native)MOS管实现同样功能的RTIA进行仿真。与采用特殊高阻薄膜材料的RTIA不同,两种设计方案实现的RTIA不增加工艺步骤,有效降低了芯片的制造成本,再配合两管共源放大器,构建了像元下前置高增益放大器。此外,相对于亚阈区MOS RTIA,浅耗尽MOS RTIA可节省偏置电路,设计更加简洁。亚阈区MOS RTIA经流片验证,在5V电源电压下,实现增益为40dB、带宽为60kHz、输出摆幅为3V,符合混合或单片集成热释电探测器阵列的设计要求。

• 单位
  电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学